项目名称：江苏**微电子股份有限公司

项目规模：3套*30m³/h   

出水指标：电阻率≥18MΩ.cm   PH:7   TOC≤15PPB   制水率≥85%   脱氧标准≤35PPb

工艺简介：原水→叠片过滤器→UF超滤→保安过滤器→两级RO→UV杀菌→0.45um膜滤器→EDI→换热装置→TOC脱除器→脱气膜装置→两级抛光混床→ 0.22um膜滤器→超纯水用水点